我們首先要知道一下，無(wú)塵車(chē)間是指將一定空間范圍內之空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等之污染物排除，并將室內之溫度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動(dòng)及照明、靜電控制在某一需求范圍內，而所給予特別設計之房間。
無(wú)塵車(chē)間是不論外在之空氣條件如何變化，其室內均能俱有維持原先所設定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。無(wú)塵車(chē)間的級別包括1級無(wú)塵車(chē)間、百級無(wú)塵車(chē)間、千級無(wú)塵車(chē)間以及十萬(wàn)級無(wú)塵車(chē)間等。
千級無(wú)塵車(chē)間是什么意思?
每立方米將小于0.5微米粒徑的微塵數量控制在3500個(gè)以下，就達到了國際無(wú)塵標準的A級。目前應用在芯片級生產(chǎn)加工的無(wú)塵標準對于灰塵的要求高于A(yíng)級，這樣的高標主要被應用在一些等級較高芯片生產(chǎn)上。微塵數量被嚴格控制在每立方米1000個(gè)以?xún)?，這也就是業(yè)內俗稱(chēng)級別中的千級。
千級無(wú)塵車(chē)間的標準，微塵數量被嚴格控制在每立方米1000個(gè)以?xún)?，這也就是業(yè)內千級無(wú)塵車(chē)間的意思。（1000級的概念是：每立方英尺內,大于等于0.5的灰塵顆粒不能超過(guò)1000顆）。
無(wú)塵車(chē)間等級標準劃分 潔凈度等級標準ISO14644根據懸浮粒子濃度這個(gè)唯一指標來(lái)劃分潔凈室(區)及相關(guān)受控環(huán)境中空氣潔凈度的等級，并且僅考慮粒徑限值(低限)0.1um～0.5um范圍內累計分布的粒子群。根據粒子徑，可以劃分為常規粒子(0.1um～0.5um)、超微粒子(<0.1um)和宏粒子(>5.0um)。