歡迎來(lái)到山東康德萊凈化工程有限公司!
高級搜索:




聯(lián)系我們

山東康德萊凈化工程有限公司
聯(lián) 系 人:   張經(jīng)理
手   機: 13256749842

傳   真: 0531-88778577

郵   箱: kdlclea@163.com
網(wǎng) 站: http://www.weimi074.com


凈化工程熱線(xiàn): 0531-88776788

新風(fēng)系統熱線(xiàn): 0531-88776799

地 址:濟南市槐蔭區齊州路2066

               

      號善信大廈603-604室



             



您當前的位置:首頁(yè)   新聞資訊   行業(yè)新聞

潔凈室中溫濕度控制范圍

來(lái)源:山東康德萊凈化工程有限公司 時(shí)間:2019-09-27 16:09:06 瀏覽次數:

潔凈室中溫濕度控制范圍


                                                                                                                               來(lái)源:山東康德萊凈化工程有限公司       日期:2019-9-27

      潔凈空間的溫濕度主要是根據工藝要求來(lái)確定,但在滿(mǎn)足工藝要求的條件下,應考慮到人的舒適度感。隨著(zhù)空氣潔凈度要求的提高,出現了工藝對溫濕度的要求也越來(lái)越嚴的趨勢。

     具體工藝對溫度的要求以后還要列舉,但作為總的原則看,由于加工精度越來(lái)越精細,所以對溫度波動(dòng)范圍的要求越來(lái)越小。例如在大規模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中,作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數的差要求越來(lái)越小。直徑100 um的硅片,溫度上升1度,就引起了0.24um線(xiàn)性膨脹,所以必須有±0.1度的恒溫,同時(shí)要求濕度值一般較低,因為人出汗以后,對產(chǎn)品將有污染,特別是怕鈉的半導體車(chē)間,這種車(chē)間不宜超過(guò)25度。

     濕度過(guò)高產(chǎn)生的問(wèn)題更多,相對濕度超過(guò)55%時(shí),冷卻水管壁上會(huì )結露,如果發(fā)生在精密裝置或電路中,就會(huì )引起各種事故。相對濕度在50%時(shí)易生銹。此外,濕度太高時(shí)將通過(guò)空氣中的水分子把硅片表面粘著(zhù)的灰塵化學(xué)吸附在表面耐難以清除。相對濕度越高,粘附的難去掉,但當相對濕度低于30%時(shí),又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于表面,同時(shí)大量半導體器件容易發(fā)生擊穿。對于硅片生產(chǎn)溫度范圍為35—45%。


版權所有©2012 山東康德萊凈化工程有限公司 

地址:濟南市天橋區藍翔路15號時(shí)代總部基地6區-15號   電話(huà):0531-88776788 電話(huà):13256749842

  郵箱:kdlclear@163.com  官網(wǎng):http://www.weimi074.com 魯ICP備19043175號   管理登錄


大香线蕉视频在线观看6_AV片在线播放免费_天天做天天爱夭大综合网_欧美日韩a在线视频y