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無(wú)塵車(chē)間等級的劃分和用途

來(lái)源: 時(shí)間:2022-09-06 08:53:28 瀏覽次數:

       半導體工業(yè)是ji精mi的工業(yè),當我們把計算機拆開(kāi)之后,在電路板上一顆顆小小的 IC都有數百萬(wàn)顆甚至數千萬(wàn)顆的晶體管。為了讓這些ji小的晶體管妥善的工作,制造的過(guò)程bi須在無(wú)塵室內進(jìn)行,集成電路制造的工廠(chǎng)動(dòng)輒需要數十億、數百億的投資,多因為需要一個(gè)無(wú)塵室。


       所謂的無(wú)塵室是一個(gè)人造的環(huán)境, 里面含有的粒子遠低于一般的環(huán)境, 隨著(zhù)集成電路技術(shù)的快速成長(cháng), 也增加了對制造環(huán)境(無(wú)塵室)潔靜度的需求, 在工業(yè)上即使粒子之尺寸小于1 微米, 可能阻礙產(chǎn)品的運作或降低其壽命。 由于奈米技術(shù)的興起, 造成半導體關(guān)鍵尺寸持續縮小, 集成電路積集度不斷的增加, 塵粒更容易使芯片失效或可靠度惡化。 例如當金屬塵粒地落到金屬導線(xiàn)時(shí), 就可能會(huì )使金屬導線(xiàn)形成短路。 又如果有酸性的離子化合物塵粒掉在金屬導線(xiàn)上, 可能將其腐蝕, 所以無(wú)塵室為集成電路制造不可或缺的要素。


       潔凈車(chē)間等級主要有哪幾種以及它們的用途。


       1.1級:主要用于制造集成電路的微電子工業(yè),對集成電路的精que要求為亞微米。


       2.10級:主要用于帶寬小于2微米的半導體工業(yè)。


       3.100級:可用于醫藥工業(yè)的無(wú)菌制造工藝等,這一潔凈廠(chǎng)房大量應用于植如體內物品的制造,外科手術(shù),包括移植手術(shù),集成器的制造,那些對細菌感染特別敏感的病人的隔離治療,比如像骨髓移植病人術(shù)后的隔離治療。


       4.1000級:主要用于高質(zhì)量光學(xué)產(chǎn)品的生產(chǎn),還用于測試,裝配飛機蛇螺儀,裝配高質(zhì)微型軸承等。


       5.10000級:用于液壓設備或氣壓設備的裝配,某些情況下也用于食品飲料工業(yè),此外,萬(wàn)級無(wú)塵車(chē)間在醫工業(yè)中也很常用。


       6.100000級:適用于多種工業(yè)部門(mén),比如光學(xué)產(chǎn)品及電子產(chǎn)品的制造。

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