潔凈室氣密性檢測方法
G.1 原 理
G.1.1 保持室內為正壓或負壓均能滿(mǎn)足檢驗要求,但條件允許
時(shí),負壓潔凈室宜用正壓檢驗,正壓潔凈室宜用負壓檢驗。
G.1.2 可按以下方法進(jìn)行檢測:
1 壓力衰減法
使室內達到某一壓力(正壓或負壓),關(guān)閉加壓或抽負壓系 統,觀(guān)察壓力隨時(shí)間衰減的情況,記錄下壓力衰減到起始壓力的
一半時(shí)所用的時(shí)間,即為測量室內正壓或負壓的半衰期。
2 恒壓法
使室內達到某一正壓,同時(shí)向室內補氣,使室壓達到要求的 穩定值而不下降時(shí)的補氣量即為漏泄量。使室內達到某一負壓,
使室壓維持要求的穩定值而不下降時(shí)的抽氣量即為漏泄量。
G.2 壓力衰減法
G.2.1 測試系統如圖G.2.1 所示。
G.2.2 可按以下步驟進(jìn)行檢測
1 將所測潔凈室的溫度控制在設計范圍內并保持穩定,記 錄壓力衰減測試過(guò)程中室內溫度的變化(溫度計或溫度傳感器的
最小示值不宜大于0.1℃)。
2 關(guān)閉所測潔凈室圍護結構上的門(mén)、傳遞窗等,關(guān)閉回風(fēng) 管(或排風(fēng)管)上的氣密閥門(mén),不得在風(fēng)口上加其他密封措施,
并維持各種孔洞縫隙的密封現狀。
3 開(kāi)啟送風(fēng),使室內壓力上升至已商定的測試壓力(壓力 計量程至少為測試壓力的1.5倍,最小示值不宜大于10Pa), 壓
力穩定后,停止送風(fēng),關(guān)閉送風(fēng)閥門(mén)。
13
1-潔凈室;2—送風(fēng)機;3—調節閥;4—密閉閥;5--微壓計;6一排風(fēng)機
4 或反之關(guān)閉送風(fēng)管上的閥門(mén),如果送風(fēng)管上無(wú)閥或閥不 嚴,應在送風(fēng)口上用塑料膜加盲板的方法封住風(fēng)口,開(kāi)啟排風(fēng), 使室內壓力下降至已商定的測試壓力,壓力穩定后,停止排風(fēng),
關(guān)閉排風(fēng)氣密閥門(mén)。
5 從停止送(排)風(fēng)起,記錄壓力隨時(shí)間衰減的數據,每 1min 記錄1次壓差和溫度,連續記錄至室內壓力下降至初始壓
力的一半時(shí)止。
6 測試結束后慢慢打開(kāi)風(fēng)閥,使房間壓力恢復到正常狀態(tài)。
8 當不用風(fēng)機時(shí)也可用空氣壓縮機或真空泵。
G.2.3 檢測報告應包括以下內容,
1 檢測條件,包括室內溫度等。
2 檢測方法包括檢測所用儀器設備規格型號及精度;所測
潔凈室壓力、溫度的動(dòng)態(tài)變化;檢測持續的時(shí)間。
3 檢測結果包括所測潔凈室壓力下降至初始壓力的1/ 2時(shí)的時(shí)間內壓力衰減率;所測潔凈室圍護結構嚴密性的
評價(jià)。
137
G.3 恒 壓 法
G.3.1 測試系統如圖 G.3.1 所示。
圖 G.3.1 恒壓法測試系統
1—潔凈室;2—送風(fēng)機;3—調節閥;4—密閉閥;5 微壓計;
6—排風(fēng)機;7—氣泵;8—流量計;9—真空泵
注:正壓檢驗時(shí)用氣泵,負壓檢驗時(shí)用真空泵
G.3.2 可按以下步驟進(jìn)行檢測:
1 將所測潔凈室的溫度控制在設計范圍內并保持穩定,記 錄測試過(guò)程中室內溫度的變化(溫度計或溫度傳感器的最小示值
不宜大于0.1℃)。
2 關(guān)閉所測潔凈室圍護結構上的門(mén)、傳遞窗等,關(guān)閉回風(fēng) 管(或排風(fēng)管)上的閥門(mén),如果風(fēng)管上無(wú)閥或閥不嚴,應在回風(fēng)
口(或排風(fēng)口)上用塑料膜加盲板的方法封住風(fēng)口。
3 開(kāi)啟送風(fēng),使室內壓力上升至500Pa, 停止送風(fēng),關(guān)閉
送風(fēng)閥門(mén)。
通過(guò)圍護結構上的孔洞和導管,由送風(fēng)機或空氣壓縮機向室 內補氣,通過(guò)調節安裝在導管上的調節閥調整補氣流量,以維持 潔凈室內的壓力穩定不下降,每隔1min 記錄一次補氣管路上浮
子流量計讀數,此數即為漏氣量,測試持續的時(shí)間宜不超過(guò)
138
5min, 取平均值。
4 反之關(guān)閉送風(fēng)閥,開(kāi)啟排風(fēng),當室內壓力下降至一500Pa 時(shí)關(guān)閉排風(fēng),開(kāi)啟真空泵保持室內壓力,記錄真空泵抽氣量,此
數即漏泄量。
5 測試結束后慢慢打開(kāi)風(fēng)閥,使房間壓力恢復到正常狀態(tài)。
6 如果需要進(jìn)行重復測試,20min 后進(jìn)行。
7 當不用風(fēng)機時(shí)也可用空氣壓縮機或真空泵。
G.3.3 檢測報告應包括以下內容:
1 檢測條件,包括室內溫度等。
2 檢測方法包括檢測所用儀器設備規格型號及精度;室內
溫度的動(dòng)態(tài)變化;漏泄量的動(dòng)態(tài)變化。
3 檢測結果包括所測潔凈室5min 內的每小時(shí)漏泄率;所
測潔凈室圍護結構嚴密性的評價(jià)。
G.4 安 全 要 求
G.4.1 應制定防范預案。
G.4.2 必須對被檢驗室內的溫度進(jìn)行監測。
G.4.3 恒壓法測試持續時(shí)間不宜太長(cháng)。