潔凈室氣密性檢測方法

G.1    原    理

G.1.1     保持室內為正壓或負壓均能滿(mǎn)足檢驗要求，但條件允許

時(shí)，負壓潔凈室宜用正壓檢驗，正壓潔凈室宜用負壓檢驗。

G.1.2  可按以下方法進(jìn)行檢測：

1  壓力衰減法

使室內達到某一壓力(正壓或負壓),關(guān)閉加壓或抽負壓系 統，觀(guān)察壓力隨時(shí)間衰減的情況，記錄下壓力衰減到起始壓力的

一半時(shí)所用的時(shí)間，即為測量室內正壓或負壓的半衰期。

2  恒壓法

使室內達到某一正壓，同時(shí)向室內補氣，使室壓達到要求的 穩定值而不下降時(shí)的補氣量即為漏泄量。使室內達到某一負壓，

使室壓維持要求的穩定值而不下降時(shí)的抽氣量即為漏泄量。

G.2    壓力衰減法

G.2.1     測試系統如圖G.2.1   所示。

G.2.2     可按以下步驟進(jìn)行檢測

1  將所測潔凈室的溫度控制在設計范圍內并保持穩定，記 錄壓力衰減測試過(guò)程中室內溫度的變化(溫度計或溫度傳感器的

最小示值不宜大于0.1℃)。

2  關(guān)閉所測潔凈室圍護結構上的門(mén)、傳遞窗等，關(guān)閉回風(fēng) 管(或排風(fēng)管)上的氣密閥門(mén)，不得在風(fēng)口上加其他密封措施，

并維持各種孔洞縫隙的密封現狀。

3  開(kāi)啟送風(fēng)，使室內壓力上升至已商定的測試壓力(壓力 計量程至少為測試壓力的1.5倍，最小示值不宜大于10Pa), 壓

力穩定后，停止送風(fēng)，關(guān)閉送風(fēng)閥門(mén)。

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1-潔凈室；2—送風(fēng)機；3—調節閥；4—密閉閥；5--微壓計；6一排風(fēng)機

4  或反之關(guān)閉送風(fēng)管上的閥門(mén)，如果送風(fēng)管上無(wú)閥或閥不 嚴，應在送風(fēng)口上用塑料膜加盲板的方法封住風(fēng)口，開(kāi)啟排風(fēng)， 使室內壓力下降至已商定的測試壓力，壓力穩定后，停止排風(fēng)，

關(guān)閉排風(fēng)氣密閥門(mén)。

5  從停止送(排)風(fēng)起，記錄壓力隨時(shí)間衰減的數據，每 1min 記錄1次壓差和溫度，連續記錄至室內壓力下降至初始壓

力的一半時(shí)止。

6  測試結束后慢慢打開(kāi)風(fēng)閥，使房間壓力恢復到正常狀態(tài)。7  如果需要進(jìn)行重復測試，20min 后進(jìn)行。

8  當不用風(fēng)機時(shí)也可用空氣壓縮機或真空泵。

G.2.3     檢測報告應包括以下內容，

1  檢測條件，包括室內溫度等。

2  檢測方法包括檢測所用儀器設備規格型號及精度；所測

潔凈室壓力、溫度的動(dòng)態(tài)變化；檢測持續的時(shí)間。

3  檢測結果包括所測潔凈室壓力下降至初始壓力的1/ 2時(shí)的時(shí)間內壓力衰減率；所測潔凈室圍護結構嚴密性的

評價(jià)。

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G.3     恒  壓  法

G.3.1  測試系統如圖 G.3.1 所示。

圖 G.3.1  恒壓法測試系統

1—潔凈室；2—送風(fēng)機；3—調節閥；4—密閉閥；5 微壓計；

6—排風(fēng)機；7—氣泵；8—流量計；9—真空泵

注：正壓檢驗時(shí)用氣泵，負壓檢驗時(shí)用真空泵

G.3.2      可按以下步驟進(jìn)行檢測：

1  將所測潔凈室的溫度控制在設計范圍內并保持穩定，記 錄測試過(guò)程中室內溫度的變化(溫度計或溫度傳感器的最小示值

不宜大于0.1℃)。

2  關(guān)閉所測潔凈室圍護結構上的門(mén)、傳遞窗等，關(guān)閉回風(fēng) 管(或排風(fēng)管)上的閥門(mén)，如果風(fēng)管上無(wú)閥或閥不嚴，應在回風(fēng)

口(或排風(fēng)口)上用塑料膜加盲板的方法封住風(fēng)口。

3  開(kāi)啟送風(fēng)，使室內壓力上升至500Pa,   停止送風(fēng)，關(guān)閉

送風(fēng)閥門(mén)。

通過(guò)圍護結構上的孔洞和導管，由送風(fēng)機或空氣壓縮機向室 內補氣，通過(guò)調節安裝在導管上的調節閥調整補氣流量，以維持 潔凈室內的壓力穩定不下降，每隔1min 記錄一次補氣管路上浮

子流量計讀數，此數即為漏氣量，測試持續的時(shí)間宜不超過(guò)

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