潔凈技術(shù)（cleanroom）是適應實(shí)驗研究與產(chǎn)品加工的精密化、微型化、高純度、高質(zhì)量和高可靠性等方面要求而誕生的一門(mén)新興技術(shù)。潔凈室（cleanroom）這個(gè)名詞和概念源于18世紀六十年代的歐洲醫學(xué)，當時(shí)的理解僅限于經(jīng)噴灑消毒后可以控制創(chuàng )部感染率的處置室、手術(shù)室這類(lèi)滅菌處理的工作環(huán)境?，F代潔凈室雖然延用了這個(gè)名詞，但在定義和內涵上都與原有的概念有根本的不同，現代潔凈室形成一項專(zhuān)門(mén)技術(shù)，其歷史不過(guò)只有半個(gè)世紀。

  我國空氣過(guò)濾器潔凈技術(shù)的發(fā)展大致可分為以下幾個(gè)階段：

  ● 20世紀60年代開(kāi)始—— 為三線(xiàn)建設服務(wù)—— 初創(chuàng )發(fā)展階段；

  ● 7 0年代～80 年代中—— 為大規模集成電路會(huì )戰服務(wù)—— 第一次大普及；

  ● 8 0年代中期～現 在—— 為醫藥行業(yè)生產(chǎn)環(huán)境現代化服務(wù)（GMP、潔凈手術(shù)室建設等）— 第二次大普及。

  1）從20世紀50年代中期到60年代中期，主要借鑒前蘇聯(lián)的技術(shù)，服務(wù)于國防、航天、原子能工業(yè)與科研。與現代潔凈技術(shù)相比，在廠(chǎng)房、設備、氣流組織等各方面還都比較原始和粗糙，屬于起步階段。

  2）從20世紀60年代中期到70年代后期，由于國內外的種種原因，主要靠自力更生發(fā)展。當時(shí)參照了美國和日本的標準和技術(shù)，逐步研制成高效過(guò)濾器和納焰法 試驗臺、潔凈工作臺、粒子計數器、裝配式潔凈室及其他潔凈室附屬設備（風(fēng)淋室、傳遞窗、余壓閥等），編制了“空氣潔凈技術(shù)措施”，奠定了我國潔凈技術(shù)的基礎

  3）從20世紀70年代末到80年代末，由于實(shí)行了改革開(kāi)放的國策，發(fā)達國家的技術(shù)與設備開(kāi)始進(jìn)入我國市場(chǎng)，現代潔凈技術(shù)在我國的大規模集成電路、光導纖維、彩色顯像管、液晶顯示屏等工業(yè)潔凈領(lǐng)域得到迅速發(fā)展，裝備0.1um高效過(guò)濾器的10級潔凈小室和無(wú)隔板過(guò)濾器研制成功。同時(shí)在醫療、制藥、生物、化妝品與食品行業(yè)生物潔凈室也得到應用，一些制藥廠(chǎng)對原有空調系統的改造中開(kāi)始采用生物潔凈技術(shù)，簡(jiǎn)易的水平“單向流”潔凈室和裝配式無(wú)菌病房用于醫院，生物安全工作臺和細菌采樣儀研制成功。1982年我國醫藥行業(yè)GMP公布，1983年中國電子學(xué)會(huì )潔凈技術(shù)分會(huì )成立，1985年GBJ73-1984《潔凈廠(chǎng)房設計規范》頒布，我國的潔凈技術(shù)進(jìn)入穩步發(fā)展階段、

  4）  20世紀80年代末至今，在大規模集成電路領(lǐng)域全面引進(jìn)境外資金、技術(shù)與設備，形成一批知名的國際品牌企業(yè)，潔凈室的規模越來(lái)越大，風(fēng)機過(guò)濾機組（FFU）和微環(huán)境技術(shù)得到應用和推廣。在醫療和制藥領(lǐng)域潔凈技術(shù)趨向成熟與規范，生物安全技術(shù)發(fā)展迅速。包括微環(huán)境、密褶型無(wú)隔板高效過(guò)濾器、微計算機控制過(guò)濾器性能測試臺等潔凈技術(shù)相關(guān)的技術(shù)設備基本可以實(shí)現國產(chǎn)，同時(shí)還開(kāi)始了0.1um光刻機及相關(guān)環(huán)境的研制。

  我國的空氣潔凈技術(shù)經(jīng)歷了50多年的發(fā)展，已經(jīng)形成相當完整的技術(shù)體系和廣闊的應用市場(chǎng)，但必須看到，由于種種原因，在潔凈技術(shù)的高端領(lǐng)域和市場(chǎng)，我國還存在差距、缺少話(huà)語(yǔ)權，還需要科技和工程技術(shù)人員的不斷努力。

  現在，我國的潔凈室技術(shù)已發(fā)展到以下水平。

①從軍工走向民用——制藥、醫療、食品；

②從高精走向普及——不僅高精尖產(chǎn)業(yè)要求，一般民需產(chǎn)業(yè)和家庭生活也出現大量需求；

③從國內走向國外——空氣凈化產(chǎn)品和潔凈室工程已走出國門(mén)。